金融界2024年11月28日音尘买球下单平台，国度常识产权局信息流露，素珀电子科技（上海）有限公司央求一项名为“供气系统、大气机械手臂、晶圆传送确立及交替”的专利，公开号 CN 119028880 A，央求日历为 2024年10月。

专利选录流露，本发明提供了一种供气系统、大气机械手臂、晶圆传送确立及交替，波及半导体坐褥确立时候界限，为经管大气机械手臂在伸出或者缩回进程中里面管路容易发生缠绕、弯折的时候问题而发明，大气机械手臂包括左机械手臂和右机械手臂，供气系统包括第一供气气路和第二供气气路，区别为两个结尾现实器里面的耗气元件进行供气，第一供气气路和第二供气气路均具有伸缩余量，以相宜左机械手臂和右机械手臂的伸出或者缩回现象，本发明第一供气气路和第二供气气路预留伸缩余量，在机械手臂的伸出或者缩回现象下简略幸免第一供气气路和第二供气气路在手臂伸缩的进程中发生缠绕、弯折，保证第一供气气路和第二供气气路为结尾现实器顺畅供气。

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结尾现实器机械手臂晶圆气气路发布于：北京市